Anwendung Reinraum
Industrieböden für Reinraum & Halbleiter
Halbleiterfertigung, Optik, Forschung — Reinraumböden müssen partikelarm, ESD-fähig, chemisch beständig und millimetergenau sein. Die Königsdisziplin moderner Industrieböden.
Was Reinraum-Böden besonders macht
Reinraum-Industrieböden müssen parallel erfüllen:
- Partikelarmut nach ISO 14644 — die Oberfläche darf bei normaler Begehung keine Partikel emittieren.
- ESD-Eigenschaften nach DIN EN 61340-5-1 — Ableitwiderstand 10⁶–10⁹ Ω, kontrollierte Statik.
- Chemiebeständigkeit — Lösungsmittel, Reinigungschemikalien, Prozessmedien.
- Höchste Ebenheit — DIN 18202 Z. 4, oft mit projektspezifischer Verschärfung.
Aufbau und System
Ein typischer Reinraum-Aufbau:
- Stahlfaserbeton-Bodenplatte als Tragschicht, präzise nivelliert
- Glättschicht mit Hartstoffeinstreuung Gruppe A oder Polyurethan-Hartmörtel
- ESD-leitfähige Beschichtung (Epoxid oder Polyurethan), 2–3 mm
- Optional: Doppelbodenaufbau für Versorgungsführung (Halbleiter-Fab)
- Hohlkehlenanschlüsse zu allen vertikalen Bauteilen
Was wir mitbringen
Reinraumbauten sind selten. Wir haben in den letzten Jahren mehrere F&E- und Halbleiter-Projekte begleitet — von der ersten Planungsabstimmung bis zur dokumentierten Übergabe inklusive Partikelmessungen und ESD-Validierung. Diese Erfahrung ist nicht beliebig austauschbar — sprechen Sie uns früh an, am besten schon in der HOAI-Leistungsphase 3.
Auswahl unserer Referenzen
3.200 m²
Halbleiterindustrie (NDA)
Süddeutschland
2.400 m²
Optikhersteller
Rhein-Neckar
1.800 m²
F&E-Zentrum Pharma
Worms
1.200 m²
Halbleiter-Vorzone
Mannheim
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